テラピコ　精密ステージ

　　精密XYZΘステージのご案内　　　　　　　　　　　　　　大型・小型の精密XYZΘステージ・搬送システムを製作します

精密ステージの一部の例を紹介します

超高精度の空気軸受けタイプもございます

精密ステージ・搬送機構の例

φ300ステージの例

・ボールねじ駆動によるステージ

・４軸（XYZΘ軸）ステージ

小型液晶用ステージの例

・リニアモータ駆動によるステージ

・３軸（XYΘ軸）ステージ

高剛性Zステージの例

・高剛性、高分解能Zステージ

ウェーハ搬送システムの例

・φ２インチ用小型システム

　　

　お問い合わせ