設計実績のご案内                     
半導体製造装置関連の豊富な経験と技術を提供します
設計開発も・開発試作も・量産装置も
テラピコは迅速・安価に行います
 
設計実績につきましては詳細は記載できませんので御了承願います

設計の得意分野・設計実績

設計の得意分野
・メカトロ装置システム
 高速駆動・干渉回避・
 小型化等の設計
・精密技術
 ダイサー・プローバー等
・真空技術
 低真空〜高真空まで
・高低温技術
・複合設計
 上記条件の組合せ設計
設計実績
・UV処理装置
・両面プローバー
・ダイボンダー
・大型液晶用アライメント部
・φ2インチウェーハローダ
・真空内移載機
・セミオートプローバー
・ハンドラー
・ウェーハ移載機
・RIEドライエッチング
・各種CVD装置
・高速熱処理炉(RTP)
・縦型拡散炉のマニホールド
・フルオートダイサー
・マニュアルプローバー
・マニュアル真空プローバー

  

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