真空・機密装置のご案内　　　特注品を１台から安価に製作します
真空装置では、真空プローバ、真空内搬送装置、などの精密機構をもった装置
及び、UV、プラズマ、高低温等のプロセス装置を開発しています
真空と精密を組合せた装置も開発しています
ロードロック室やマルチチャンバも対応します

真空・機密装置の例

真空プローバーの例
・マニピュレータ方式
・大エリアを測定可能
真空プローバーの例
・プローブカード対応
・ステージが移動する
機密装置の例
・アルミ鋳込みヒータ
・オゾン対策
真空内機構
・ガラス基板搬送機構の例

　　

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