テラピコ　プローバー

各種プローバーを、オーダーメードで設計製作します

　OEM・設計だけも行います

オートプローバ・両面プローバ等も設計製作しています

真空・機密装置の例

真空プローバーの特長

真空プローバーは、測定仕様のバラエティが多いので都度必要仕様に合わせて安価に設計製作します

・真空内でプローブカード対応ができます

・真空容器内に可動ステージを設置できますので大きなワークでも測定可能です

・特殊マニピュレータにて大エリアをプローブできます

・高温・低温も御相談下さい

シールドボックス付プローバーの特長

・高低温測定用途

・高電圧測定用途

・自動化も可能です

オートプローバーの特長

・ウェーハでは、φ300対応が可能です

・ガラス基板対応も可能です

・ローダーも設置可能です

（写真は本体部機構のみです）

マニュアルプローバーの特長

・大型マニュアルプローバーが製作可能です

・高剛性Z軸を搭載できますので、一括コンタクトが安心してできます

・プラテン昇降機構があり、大型ワークの出し入れが簡単です